グローバル半導体欠陥レビューシステム市場シェア：主要企業、売上動向、競争戦略2025
半導体欠陥レビューシステム市場概要
半導体検査は半導体プロセス全体、すなわち前工程と後工程を通じて行われる。半導体検査には光学検査、電子ビーム検査、X線測定が含まれる。主にウェハー表面や回路構造にスクラッチ、粒子汚染、パターン欠陥などの異常品質状態があるかを検査する。異なる検査技術には明らかな差異があり、主に精度、速度、検査目的に反映される。
半導体検査の種類には、パターン検査、非パターン検査、マスク検査がある。このうちパターン欠陥検査は、明視野検査と暗視野検査に分けられる。いずれも光信号を通じて分析するが、明視野は垂直反射光信号であるのに対し、暗視野は散乱光信号である点が異なる。
半導体集積回路のプロセスノードが微細化するにつれ、ウェーハ工場におけるプロセス制御の主要装置である光学欠陥検出装置の解像度は、大規模生産や先進プロセス開発のニーズを満たせなくなっている。欠陥を鮮明に画像化しその種類を特定するためには、より高解像度の電子ビームレビュー装置による詳細なレビューが必要であり、これにより半導体プロセス技術者がプロセス技術を最適化する基盤が提供される。
欠陥レビューとは、走査型電子顕微鏡（SEM）や光学技術を用いて半導体ウェーハ／マスク上の欠陥を詳細に検査するプロセスである。まず、欠陥検出システムによりウェーハ／マスク上の欠陥を予備的に特定し、その位置座標をファイルに記録する。その後、これらのウェーハ／マスクと検査結果ファイルを欠陥レビュー装置に読み込む。レビュー装置は、隣接するモールドの回路パターンとの比較や差分画像処理技術を用いて欠陥を検出し正確に位置特定します。その後、各欠陥を視野の中心に自動移動させ、高倍率画像を撮影して詳細なレビューと分類を行います。このプロセスは主に電子機器検査システムやその他の半導体生産ラインと連携し、欠陥の正確な識別と記録を保証します。
QYResearchが発表した新たな市場調査レポート「グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート2025-2031」によると、世界の半導体欠陥レビューシステム市場規模は、予測期間中に年平均成長率（CAGR）6.7％で成長し、2024年の864 百万米ドルから2031年までに1425百万米ドルに達すると予測されている。
図.世界の半導体欠陥レビューシステム市場規模（百万米ドル）、2020-2031年
上記のデータはQYResearchのレポート「グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート2025-2031」（2024年発行）に基づいています。最新データが必要な場合は、QYResearchまでお問い合わせください。
図. グローバル半導体欠陥レビューシステム主要9社ランキングと市場シェア（ランキングは2024年の収益に基づき、随時更新）
上記のデータはQYResearchのレポート「グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート2025-2031」（2024年発行）に基づいています。
半導体欠陥レビューシステムの世界的な主要メーカーには、KLA、アプライドマテリアルズ、日立ハイテク、レーザーテックなどが含まれます。2024年、世界トップ5社の収益シェアは約95％を占めました。
図.半導体欠陥レビューシステム、世界市場シェア（製品セグメント別内訳）
QYResearchの調査に基づく、または調査を含む：グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート 2025-2031。
製品タイプ別では、5-7nmが最大のセグメントであり、33.98%のシェアを占める。
図.半導体欠陥レビューシステム、グローバル市場シェア、アプリケーションセグメント別内訳
QYResearchの調査に基づく、またはその調査を含む：グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート 2025-2031。
製品用途別では、300mmウェーハが最大の用途であり、59%のシェアを占める。300mmウェーハは現在市場の主流であり、将来のトレンドでもある。
図：半導体欠陥レビューシステム、地域別グローバル市場シェア（生産）
QYResearchの調査に基づく、または調査を含む：グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート 2025-2031
図：半導体欠陥レビューシステム、地域別グローバル市場シェア
QYResearchの調査に基づく、またはその調査を含む：グローバル半導体欠陥レビューシステム市場レポート 2025-2031
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