半導体設備部品用PVDとALDコーティング調査レポート:市場規模、産業分析、最新動向、予測2025-2031
半導体設備部品用PVDとALDコーティング世界総市場規模
チャンバー部品用のPVDおよびALDコーティングは、一般的にイットリウムまたはアルミニウム酸化物を基にしており、あるいはアルミニウムオキシナイトライド(AlON)で構成されることもある。正確な化学組成やコーティング厚さは、用途ごとにカスタマイズされる必要がある。チャンバー内で使用される温度、プロセス時間、使用ガスなどはデバイス仕様によって大きく異なり、これらの変数に基づいて、目的とするコーティング性能に最適な組み合わせが選定される。高精度に設計されたカスタムコーティングは、コストと性能の最適なバランスを提供する。
出典:Entegris
半導体設備部品用のPVDおよびALDコーティング技術は、装置内部のチャンバーコンポーネントに高耐久性・高耐食性の薄膜を形成することで、プロセスの安定性を維持し歩留まり向上を支える重要な技術領域。特にプラズマ環境下での耐プラズマ性やパーティクル抑制効果が重視されており、先端プロセスほどコーティング技術の精度と信頼性が求められるようになっている。これらの技術は、膜厚の均一性や膜質制御の柔軟性に優れており、次世代ノード対応の基盤として不可欠となっている。
QYResearch調査チームの最新レポートである「2025~2031年グローバル半導体設備部品用PVDとALDコーティング市場レポート」によると、2025年から2031年の予測期間中のCAGRが7.0%で、2031年までにグローバル半導体設備部品用PVDとALDコーティング市場規模は1億米ドルに達すると予測されている。
- 半導体設備部品用PVDとALDコーティング世界総市場規模
上記の図表/データは、QYResearchの最新レポート「2025~2031年のグローバル半導体設備部品用PVDとALDコーティング市場調査レポート」から引用されている。
市場の成長を牽引する主な要因として、半導体微細化の進展に伴うチャンバー環境の過酷化や、装置の稼働率向上要求の高まりが挙げられる。従来の消耗部品交換に比べ、コーティングによる耐久性強化はコスト効率の面でも優れており、長寿命化と保守間隔の延長が実現可能となる。また、環境規制の強化やグリーン製造への移行も、より高精度かつ低環境負荷のコーティング技術に対する需要を加速させている。
- 世界の半導体設備部品用PVDとALDコーティング市場におけるトップ8企業のランキングと市場シェア(2024年の調査データに基づく;最新のデータは、当社の最新調査データに基づいている)
上記の図表/データは、QYResearchの最新レポート「2025~2031年のグローバル半導体設備部品用PVDとALDコーティング市場調査レポート」から引用されている。ランキングは2023年のデータに基づいている。現在の最新データは、当社の最新調査データに基づいている。
QYResearchのトップ企業研究センターによると、半導体設備部品用PVDとALDコーティングの世界的な主要製造業者には、KoMiCo、Entegris、Inficonなどが含まれている。2024年、世界のトップ3企業は売上の観点から約48.0%の市場シェアを持っていた。
今後の企業動向としては、各国の政府主導による先端半導体製造への投資拡大に伴い、装置部品サプライチェーンの中でPVD/ALDコーティング技術を有する企業の戦略的価値が高まっていくと考えられる。特に成膜材料の最適化や工程短縮、高スループット化への対応力が競争力の差となり、装置メーカーやファウンドリとの連携強化が企業の成長を左右する要因となる。研究開発への継続的な投資とプロセスカスタマイズ能力が、差別化されたソリューション提供につながる鍵となる。
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